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當前位置:首頁 > 產品中心 > 質量流量控制器 > 差壓式質量流量控制器
  • 5910D4GRYLLS數字量氣體流量控制器
    5910D4GRYLLS數字量氣體流量控制器

    更新時間:2022-12-25

    型號:5910D4

    瀏覽量:796

    GRYLLS數字量氣體流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;
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  • 5930D4GRYLLS差壓式液體流量控制器
    5930D4GRYLLS差壓式液體流量控制器

    更新時間:2022-12-25

    型號:5930D4

    瀏覽量:760

    GRYLLS差壓式液體流量控制器采用無熱漂移,無響應滯后的差壓質量測量原理,無熱漂移,可以忽略的溫移和時漂,長期穩定性0.1%F.S/年,準確度1.0%,量程可在100:1范圍內按鍵設定,無需標定,可以同時顯示和輸出:瞬時 流量、累計流量、壓力、溫度等。
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  • GRYLLS-6610差壓式質量流量控制器
    GRYLLS-6610差壓式質量流量控制器

    更新時間:2022-12-25

    型號:GRYLLS-6610

    瀏覽量:710

    Grylls6600差壓式質量流量控制器沒有附加的“比熱容“誤差。所以,即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同,也不會影響測量精度。
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  • GRYLLS 6620差壓式質量流量控制器
    GRYLLS 6620差壓式質量流量控制器

    更新時間:2022-12-25

    型號:

    瀏覽量:696

    GRYLLS 6620差壓式質量流量控制器產品特色:多氣體系數切換V2.0 氣體轉換系數提供多種預置的氣體系數轉換:完整列表見操作手冊附錄。如果您需要的氣體介質表列中沒有,請聯系我們。我們還可以校準各種復雜的氣體混合物。
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  • 差壓質量流量控制器
    差壓質量流量控制器

    更新時間:2022-12-25

    型號:

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    差壓質量流量控制器由質量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調節閥和放大控制電路組成,采用數字信號輸入輸出,具有預熱時間短,零漂小,可靠性高等特點。
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  • Grylls6600差壓式質量流量控制器
    Grylls6600差壓式質量流量控制器

    更新時間:2022-12-25

    型號:

    瀏覽量:799

    Grylls6600差壓式質量流量控制器與熱式流量計不同,當使用氣體轉換系數時,Grylls6600沒有附加的“比熱容“誤差。所以,即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同,也不會影響測量精度。
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  • Grylls6600差壓式質量流量控制器
    Grylls6600差壓式質量流量控制器

    更新時間:2022-12-25

    型號:Grylls6600

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    Grylls6600系列差壓式質量流量控制器采用無熱漂移,無響應滯后的差壓質量測量原理,無熱漂移,可以忽略的溫移和時漂,長期穩定性0.1%F.S/年,準確度1.0%,量程可在100:1范圍內按鍵設定,無需標定。
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  • GRYLLS-6600差壓式質量流量控制器
    GRYLLS-6600差壓式質量流量控制器

    更新時間:2022-12-25

    型號:GRYLLS-6600

    瀏覽量:708

    GRYLLS-6600差壓式質量流量控制器采用無熱漂移,無響應滯后的差壓質量測量原理,可以同時顯示和輸出:瞬時 流量、累計流量、壓力、溫度等。當需要控制功能時,還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID 調節功能。 與熱式流量計不同,當使用氣體轉換系數時,GRYLLS-6600質量流量控制器沒有附加的“比熱容”誤差 。所以,即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同,也不會影響測量精度。
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